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压电扫描台的特点和应用

更新时间: 2018-04-16
压电扫描台的特点和应用
  产品特点:
  1-3维运动
  zui大运动范围370μm
  一体式结构设计,多维运动无耦合
  zui大透光孔径35mm
  闭环精度可达0.15%F.S.
  应用:
  原子力显微镜 高分辨率CCD 三维共焦显微 激光平面干涉 纳米光刻 红外热成像扫描 光纤对接 纳米光刻
  压电扫描台中心具有通孔,台体集成高精度传感器,采用柔性铰链设计、无机械摩擦、分辨率高。产品主要应用于透光精密光学器件的定位,生物显微与显微成像系统。压电扫描台包括一维、二维、三维三种运动形式,zui大运动范围可达370μm。P-78压电扫描台,采用一体式设计,柔性铰链机构, XYZ三维运动无耦合,无机械摩擦,响应速度快,满足不同应用的需求。
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