压电物镜扫描器是专门为聚焦显微而设计的，采用无回差柔性铰链并联导向结构设计，物镜补偿量小，具有超高聚焦稳定性，物镜扫描器装入显微检测/测量或者观测装置可以带动镜片聚焦提高精度，可与多种高分辨率的显微镜配合使用。
压电物镜扫描器特点：
运动范围100μm
定位精度达纳米级
响应速度可达毫秒级
直线运动无偏航
压电物镜扫描器应用：
晶圆切割
生物显微
白光干涉
原子力显微镜
差动聚焦检测系统
显微光学成像
压电物镜扫描器为小体积大行程压电物镜扫描器，内置高性能压电陶瓷，闭环精度高，响应速度快、满行程线性度达纳米量级，可进行激光聚焦，已广泛应用与晶圆切割、半导体及微电子加工领域。哈尔滨芯明天科技有限公司专业致力于压电纳米定位系统的研发生产与销售。十余年的行业经验、专业的研发团队、雄厚的研发实力、完善的管理体系、可靠的品质保障为您提供的压电纳米定位技术解决方案！
