压电扫描台P78.Z100-D1是专为生物医疗应用而设计的用于样品显微扫描的压电扫描台，它的外形结构易于集成于显微仪器设备中。压电扫描台P78.Z100-D1的Z向运动范围可达110µm。

特点：

行程范围可达110µm

Z向分辨率可达4nm   

承载能力可达1kg

通孔尺寸为120×70mm

高度仅25mm

应用于Z向显微扫描

应用：

医疗显微成像、生物技术、超分辨率显微镜、光学圆盘显微镜、共聚焦显微镜、3D成像、筛选、干涉测量、测量技术、自动聚焦系统、半导体测试等。

压电扫描台P78.Z100-D1对于纳米范围的对准、纳米聚焦、测量等应用是非常理想的。它的高度仅25mm，中心具有120×70mm的通孔，可提供亚纳米级分辨率的高精度运动。

压电扫描台P78.Z100-D1可选配桥式配置的闭环传感器，可消除温度漂移，保证了纳米范围的定位稳定性。

压电扫描台P78.Z100-D1的结构经过FEA建模仿真分析设计，无间隙、无摩擦，具有*的运动精度。同时，通过FEA优化了直线度与平面度，为运动方向及垂直运动方向上提供了较高的刚度。因其并联运动学的设计，将扫描台的质量尽可能缩小，使结构更紧凑、响应速度更快。

压电扫描台P78.Z100-D1匹配芯明天E53.D压电控制器使用，使整个压电显微聚焦系统的体积非常小巧。可选择闭环控制及上位机通信功能。

压电扫描台P78.Z100-D1技术参数

型号：P78.Z100-D1

运动自由度：Z

行程范围（-20~+150 V）：110µm

传感器类型：SGS

通孔尺寸：120×70mm

闭/开环分辨率：7/4nm

闭环线性度：0.2%F.S.

闭环重复定位精度：0.1%F.S.

运动方向推/拉力：120/15N

运动方向刚度：1.5N/um

空载谐振频率：200Hz

空载工作频率(10%行程)：50Hz

承载能力：1Kg, max

静电容量：5.4μF/轴

工作温度范围：-20~80℃

外形尺寸：154×136×25mm

压电控制器E53.D技术参数

型号：E53.D

供电输入电压：24V（20V～30V）/1A

静态功耗：<5W

处理器：32bit 168MHz

D/A转换器：16bit

A/D转换器：16bit

通信接口：USB，RS-422，RS-232

传感器类型：SGS

伺服特性：模拟P-I+带阻+低通

通道数：1 通道

标称模拟输入范围：0～10V

标称输出电压范围：0～120V(可选0～150V)

电流：1A

平均电流：60mA

放大器带宽：10kHz

纹波：10mVpp（加载2.2uF）

额定输出功率：9W

工作温度范围：0至50℃

输出短路电流：60mA

过流指示：平均电流超过60mA则过流指示灯亮

控制输入连接器：SMB连接器

传感输出连接器：SMA连接器

PZT连接器：LEMO单芯

SENSOR连接器：LEMO四芯

通信连接器：DB9、MicroUSB

尺寸：130×80×27.5mm

重量：0.35kg

压电扫描台P78.Z100-D1与压电控制器E53.D配套使用，非常适于空间受限的超分辨显微扫描、成像应用中。

应用案例之显微聚焦

利用芯明天压电扫描台P78.Z100-D1，可进行样品的显微聚焦，提高成像的聚焦精度，可使成像更清晰，增加图像的分辨率。P78.Z100-D1压电扫描台的聚焦速度可达亚毫秒量级，使得自动聚焦系统的聚焦速度更快。匹配E53.D系列压电控制器，体积小巧，更易于集成。