压电陶瓷管扫描器与光纤章动跟踪
压电陶瓷管扫描器是可以XYZ三维运动的压电陶瓷管，用于三维微扫描与定位，如AFM原子力显微镜等。
结构形式-四区分割电极
工作方式及原理
压电陶瓷管扫描器为壁厚比较薄、径向极化、外壁四个电极、内壁一体或者分区电极的压电陶瓷管，当外部施加一个正电压到某一个区域时，陶瓷管垂直方向收缩，使陶瓷管顶部产生比较大的倾斜，同时施加电压会使陶瓷轴向或径向膨胀和收缩。
电极
可选化学镀镍、化学镀镍和金。也可接受电极定制。
驱动方式与位移计算
标准品技术参数
定制产品尺寸范围
压电陶瓷管扫描器用于光纤章动跟踪
压电陶瓷管扫描器体积小巧以及扫描速度快等特点，使其非常适于光纤章动跟踪。采用光纤章动跟踪方法，进行空间激光到单模光纤的耦合。章动运动如下图所示。
压电陶瓷管扫描器的外径可小于3mm，体积非常小巧，非常便于集成。扫描范围为几微米甚至可达上百微米，且响应速度可达亚毫秒，频率达5kHz甚至更高，可满足光纤章动跟踪的要求。
