芯明天超高精度P21压电旋转台
芯明天新推出P21系列压电旋转台为一维θz旋转台,产品体积小巧,大旋转角度8.5mrad,承载能力达2kg,可带动镜片做精密旋转运动。
特性
·θz旋转
·大旋转角度8.5mrad
·闭环定位精度高
·体积小巧
典型应用
·光路调整
·光束扫描
·干涉/计量
小体积、高分辨率、高精度
P21θz一维旋转台采用机构放大设计原理,可以实现大8.5mrad的旋转,体积小巧、结构紧凑,尺寸仅为60×60×15mm,非常易于集成到精密旋转设备中。
采用压电陶瓷作为驱动元件,台体采用柔性铰链机构,无摩擦、无回差,可以实现0.2μrad的分辨率。内置SGS传感器配套闭环控制器可以实现微弧度的定位精度,在光路精密角度调整中起着非常重要的作用。
技术参数
P21.R7S
运动自由度:θz
标称旋转角度(0~120V):6mrad(~1200秒)
大旋转角度(-20~150V) :8.5mrad(~1700秒)
传感器类型:SGS
闭环分辨率:0.4μrad(~0.08秒)
闭环线性度:0.5%F.S.
闭环重复定位精度:0.2%F.S.
推/拉力:10/5N
运动方向刚度:1N/μm
空载谐振频率:1.1kHz
大承载:2kg
静电容量:1.8μF
材质:铝
重量:105g
应用实例
P21系列压电旋转台可以与芯明天任意平台或倾斜台配合使用,组成多轴精密压电定位台,用于多维精密直线与旋转定位操作。
推荐控制器
P21为θz一维压电旋转台,单通道压电控制器即可驱动控制,闭环版本P21推荐配套E01系列闭环控制器,实现θz高精度旋转定位控制。
E01.D1压电控制器
·E01.D1
·0~120V/150V输出
·平均功率7W/35W
·上位机通信、模拟、旋钮控制