P77系列压电式移相器
P77.D4 压电式移相器为大口径移相器，中心通孔孔径分别为160mm，特殊的结构设计，与光学平面检测仪相匹配。
特点
· 一维 Z 向运动
· 分辨率可达0.5nm
· 通孔尺寸为Ø160mm
· 行程范围20μm
· 大承载10kg
承载能力
P77.D4 的承载能力高达10kg。
多点位移测量
出厂前，对多个点进行位移测量，保证运动的直线度。
步进曲线
开环曲线
技术参数
以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得
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