压电促动器应用于笼式结构白光干涉
压电促动器具有纳米级分辨率、亚毫秒级响应速度等特点,并且压电促动器及其控制器的体积小巧,非常易于集成至笼式结构中,进行快速及高精度的光学路径调整。
笼式结构白光干涉仪的体积小巧,将芯明天7VS12压电促动器及USB式压电控制器集成于该设备中,可对白光中含有的各种光波长的干涉做快速扫描。
7VS12 压电促动器参数:
• 位移:9µm
• 直径:12mm
• 谐振频率:40kHz
E63 USB式压电控制器参数:
• USB供电
• 上位机软件直观控制
• 输出电压:150V
压电促动器分开环与闭环两种版本,其中开环版本适用于动态快速扫描、步进;闭环版本内部配置有位移传感器,非常适用于静态或半静态的位移运动及保持。
对于笼式结构或其他结构的干涉仪应用,可根据光的波长及步进距离选择压电促动器的位移等参数。
我们可提供该白光干涉的整套设备,在该设备基础上,增加部分部件及算法,即可达到干涉测量的目的。