驱动元件

芯明天压电纳米定位台内部采用压电陶瓷作为驱动元件，主要利用压电陶瓷的逆压电效应，通过对压电陶瓷施加电场，产生纳米级精度的致动位移。压电陶瓷具有优异性能及超长使用寿命，多种尺寸及位移集成到纳米定位系统中满足不同应用的需求。

压电陶瓷

内部结构

柔性铰链机构结构紧凑且无摩擦，适合与压电陶瓷组成分辨率高，频响高的超高精度纳米定位台。同时柔性铰链机构还可以提供适当的预紧，避免压电陶瓷承受拉力，提高压电纳米定位台的使用寿命。

柔性铰链

运动自由度

芯明天压电纳米定位台可以实现X轴、Z轴、XY轴、XZ轴、XYZ轴方向的精密运动。

位移行程

芯明天压电纳米定位台的位移行程通常在几微米至几百微米之间，更大行程范围可定制。

分辨率

压电纳米定位台内部采用的压电陶瓷本身具有无限高的分辨率，但由于受外部控制信号及其他因素的影响，使得可实现的分辨率是有限的。以P63系列为例，配套芯明天E01系列压电控制器，可以实现0.1nm的步进分辨率。

步进分辨率

响应时间

压电纳米定位台的响应时间可达毫秒级，以P11系列为例，配套芯明天E52系列压电控制器可实现0.8ms的响应时间。

响应时间

驱动电压

芯明天压电纳米定位台的驱动电压可在-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。

可选闭环反馈

芯明天压电纳米定位台可选配集成 SGS 应变传感器、 位移传感器或CAP电容传感器，以消除PZT 压电陶瓷的迟滞与蠕变特性，使得输入控制电压与输出位移成线性关系。芯明天压电产品均可选闭环版本，配套芯明天闭环控制系统，压电控制器通过PID算法进行电压调整对位移进行实时修正，实现纳米级定位精度，稳定性好，可靠性高。

闭环传感器