精密定位技术对定位系统的精度和行程提出了越来越高的要求，压电机构驱动宏微复合对这一要求提供了关键的技术支持，解决了其要求行程大、定位精度高等技术难题，同时还具备了体积小、响应速度快、出力大等技术优势。

芯明天压电宏微复合机构是手动调节与电压调节相结合的超精密定位台。控制结构分为两部分，一部分为手动调节台，通过千分尺进行调节；另一部分为压电纳米定位台，内部由压电陶瓷驱动，通过施加电压来控制。在粗调机构中，可调整的直线运动行程为13mm，分辨率为10μm。在精调机构中，可调整的直线运动行程可达100μm，分辨率为2.5nm。可通过两种调节结合来达到纳米级定位精度。

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以P84系列压电宏微复合机构为例

特点：

· X向运动，1至3维自由组合；

· 易于调节，分辨率可达2.5nm

· 粗调行程13mm/轴

· 精调行程100μm/轴

· 压电调节可选配闭环传感器

· 结构紧凑，体积小巧

技术参数：

P84宏微复合机构可与宏动平台配合使用，1~3维自由组合，组成大行程高精度运动平台。