P92.X40快速刀具定位台内部采用高压压电陶瓷驱动，驱动电压为0~1000V，出力可达3000N。该快速刀具定位台可产生一维X向的微进给运动，进给范围可达40μm，且集成闭环传感器，可保证操作时控制电压与位移间的线性关系。另外，它的机械结构设计坚固，且配有散热接口。

特点：

● 行程达40μm   ● 驱动电压0~1000V  ● 出力达3000N  ● 闭环分辨率达10nm  ● 散热孔

技术参数：

型号：P92.X40

标称行程范围（0-800V）：32μm

行程范围（0-1000V）：40μm

传感器类型：SGS

落后相位（1μm/1Khz ）：＜20°

落后相位（5μm/500hz ）：＜10°

推力：3000N

运动方向刚度：100N/μm

空载谐振频率：3975Hz

闭环线性度：<0.1%F.S

闭环重复定位精度：<0.1%F.S

闭环分辨率：10nm

静电容量：540nF

材质：钢

开环位移曲线

注：上图中，实际施加到快刀定位台的电压值为输入电压的100倍。

闭环精度曲线

闭环分辨率

1

增益曲线

1

相位曲线

1

温升曲线

1）1kHz、1μm工作条件下温升曲线

2）500Hz、5μm工作条件下温升曲线

3）200Hz、400V工作条件下温升曲线