XD302系列为开环式二维θX、θY运动的压电偏转镜，是专为高动态应用而设计，空载谐振频率高达15kHz，且体积小巧，适于空间受限的应用。

特点

二维偏转运动

体积紧凑

开环，高分辨率

适于高动态应用

应用

XD302系列小体积压电偏转镜适于激光加工快速扫描、激光光路稳定等各种光路调节等。

两种型号

XD302系列二维压电偏转镜，具有XD302-D1与XD302-D2两种型号，两种型号的位移分别为3mrad、1.5mrad，两个版本的空载谐振频率都高达15kHz。并且，它们的体积非常紧凑，外径仅15.6mm，高分别为30mm、21mm。

XD302-D1压电偏转镜

XD302-D1技术参数

型号：XD302-D1

运动方向：θx、θy

标称行程范围（0~120V）：3或±1.5mrad

开环分辨率：0.03μrad

空载谐振频率：15 kHz

带载谐振频率（φ12.5×3mm镜片）：10 kHz

静电容量：1.6μF/轴

材料：钛合金、钢

质量：30g

驱动控制：三路驱动（含1路恒压）

外径/高：15.6/30mm

XD302-D2压电偏转镜

XD302-D2技术参数

型号：XD302-D2

标称行程范围（0~120V）：1.5或±0.75mrad

开环分辨率：0.02μrad

空载谐振频率：15 kHz

带载谐振频率（φ12.5×3mm镜片)：10 kHz

静电容量：0.7μF/轴

材料：钛合金、钢

质量：20g

驱动控制：三路驱动（含1路恒压）

外径/高：15.6/21mm

偏转角度与驱动电压曲线