P77系列压电移相器是专为光学检测移相应用而设计，行程范围可达 50µm，负载能力可高达10kg。P77.D9为P77系列中的一款，它的中心通孔为φ140mm，移相行程可达32μm，分辨率达0.5nm，适用于各种光学镜片、镜头等测量的卧式激光干涉仪，卧式承载达5kg。

芯明天压电移相器以定制设计为主，依据客户的设备应用，量身定制。

特点

• 行程范围：0~16/32μm

• 通孔直径：Φ140mm

• 卧式承载：5kg

• 可定制

应用

• 显微成像

• 表面检测

• 移相/干涉/计量

• 精密定位

• 移相器

• 光学捕获

10V步进电压与位移曲线

应用示图

P77.D9压电移相器是专为卧式激光干涉仪而设计，带载大口径镜架等，亚纳米级步进移相，为光学检测设备提供高精密的核心组件，显著提高光学检测的精度。

技术参数

运动自由度：Z轴

标称行程范围（0~120V）：12.8或25.6μm

行程范围（0~150V）：16或32μm

通孔尺寸：φ140mm

外形尺寸：210×210×56mm

分辨率：0.5nm

俯仰/偏航/滚动：<15μm

空载谐振频率：200Hz

卧式承载能力：5kg

静电容量：14.4或28.8μF

材质：钢、铝

重量：4.2kg

工作温度范围：-20~80℃

控制：1或2路控制

连接器：LEMO

出线长：1.5m

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