压电扫描台为压电陶瓷驱动、1-3维并联式平移扫描台,台体中心圆形通孔孔径可选25mm或35mm,满足显微等应用。压电扫描台可以实现单轴320μm的位移行程,一体式结构使得多维运动无耦合、多种规格型号可选,以满足不同应用的需求。
压电扫描台采用机构放大设计原理,超小的体积外形,可以实现大320μm的扫描范围,35mm通孔对应台体外形尺寸为70×70×24mm。台体采用FEA有限元分析优化设计,具有零摩擦、超高导向精度、纳米级分辨率等优点。扫描台内置高可靠性表面绝缘压电陶瓷,确保了扫描台的可靠性与稳定性。
红外热成像扫描技术是利用探测器、光学成像物镜和扫描系统接受被测目标的红外辐射能量分布图形反映到红外探测器的光敏元上,在光学系统和红外探测器之间,扫描机构对被测物体的红外热像进行扫描,并聚焦在单元或分光探测器上,由探测器将红外辐射能转换成电信号,经放大处理、转换或标准视频信号通过电视屏或监测器显示红外热像图。
压电扫描台以其高频率、高分辨率等特点应用于红外热像仪中,大大提高了热像仪成像的分辨率。平台采用机构放大设计原理,可以实现XY轴±10μm的位移行程,产品体积小巧、结构紧凑易于集成与安装到设备中。
压电扫描台内置高可靠性压电陶瓷,分辨率可以达到0.5nm,满行程重复定位精度达纳米级。