大行程平移台系统由大行程平移台（内部集成柔性铰链、压电陶瓷执行机构、应变式传感器）、驱动控制电路及电源组成。

XD601系列大行程平移台是基于压电陶瓷执行驱动的，以高精度应变计（SGS）作为传感反馈的运动平台，可实现X、Y、Z 三维的精密和快速运动。闭环的控制方式，确保了系统的线性度和重复度。

在研发设计方面，XD601采用了压电特性更加优异的压电陶瓷，在相同的控制电压下可以输出更大的位移，同时也保证了更高的稳定性。在结构方面采用了全新的钛合金材质，不仅提高了系统的整体强度，而且提高了性能。配合全新的铰链机构设计，可以实现更大的位移输出，同时保证整体结构的稳定性。产品已广泛应用于航天光纤激光通信等领域。

技术参数

型号：XD601.XYZ

运动自由度：XYZ

行程范围@120V：X130/Y130/Z250μm

行程范围@150V：X180/Y180/Z300μm

闭环传感器：SGS

闭分辨率：XY7nm Z10nm

承载能力：0.2 kg

压电控制器

系统中的另一组成部分为驱动大行程平台的压电控制器，配套的E70.D3S系列压电控制器是一款小体积、大功率、低功耗、高带宽、低纹波噪声的3通道压电控制器。该控制器采用运放电路保证了高压大电流的输出能力，通过优化传感伺服模块从而提高了PI 调节与控制的精准度与稳定性，可靠的抗干扰设计保证了控制器的高频响应速度。

技术参数

型号：E70.D3S

通道数：3

模拟输入：0~10V

输出电压：0~120/150V

平均电流：70mA

放大器带宽：10kHz

传感器类型：SGS

通信接口：RS-232/422

重 量：1.2kg

供电电压：24V DC1.5A(36W)