超精密加工是实现纳米加工的有效方式，其中压电快速刀具伺服系统是超精密加工中的核心器件，快速刀具定位台带动车刀或其他刀具微纳米级进给，在工件表面进行加工。此外也可加工各种回转表面，如内圆柱面、内外圆锥面、螺纹、沟槽、端面和成型面等。

FTS20 系列快速刀具定位台是专为超精密车削而设计的快速刀具微进给平台，它采用直驱式驱动结构，承载力大、频率高，且采用电容式闭环传感器，具有纳米级定位精度。

特点

•行程范围18μm

•满行程下，使用频率可达95Hz

•负载能力300g

高刚度

快速刀具定位台采用大出力压电陶瓷，同时台体材料采用不锈钢材质以确保加工过程中的稳定性，结构稳定可靠，加工精度不会因颤动而受影响。

技术参数型号：FTS20

行程：18μm@95Hz

9μm@190Hz

1μm@600Hz

传感器：SGS

线性度：0.1%F.S.

重复定位精度：15nm

负载：300g

刚度：120N/μm

空载谐振频率：4000Hz

驱动电压范围：0~150V

外形尺寸：L110×W95×H42mm

重量：2100g

工作温度：-20~80℃

出线长：1.5m