S38系列小体积、高动态压电偏转镜
特性
· θx、θy 二维偏转
· 可选行程1.5或3mrad
· 小体积,外径仅20mm
· 高谐振频率
高动态、高稳定性、闭环高精度
S38偏转镜结构紧凑,内部装配带有预紧的高可靠性压电促动器,集成在柔性铰链导向系统,提供了更好的性能及可靠性。在机械结构的合适位置采用应变传感器来得到定位精度,同时他们提供了较高的带宽并向控制器发送定位反馈信号,传感器以桥式配置连接以消除热漂移从而确保优质的稳定性。
开/闭环曲线
S38.T1开/闭环曲线。
闭环线性度曲线
S38.T1S闭环线性度曲线。
技术参数
型号:S38.T1
运动自由度:θx、θy
行程范围@120V:1.2mrad/轴
行程范围@150V:1.5mrad/轴
闭环传感器:SGS
闭/开环分辨率:0.5/0.02μrad
闭环线性度:0.3%F.S.
闭环重复定位精度:0.1%F.S.
空载谐振频率:7000Hz
静电容量:1.6μF/轴
重量:50g(不含线)
型号:S38.T2
运动自由度:θx、θy
行程范围@120V:2.4mrad/轴
行程范围@150V:3mrad/轴
闭环传感器:SGS
闭/开环分辨率:1/0.04μrad
闭环线性度:0.4%F.S.
闭环重复定位精度:0.2%F.S.
空载谐振频率:2000Hz
静电容量:3.6μF/轴
重量:60g(不含线)