压电促动器的生产技术要求
一种压电促动器,其包括压电元件和保持该压电元件的保持构件,所述压电元件具有形成于压电陶瓷片表面上的一对电极,其中:
该压电陶瓷满足下面的要求(a)-(e)中的至少一种要求:
(a)堆密度应该等于或小于5g/cm↑[3],根据共振-反共振方法计算的杨氏模量Y↓[11]↑[E]应该等于或大于90GPa;
(b)导热系数应该等于或大于2Wm↑[-1]K↑[-1];
(c)在-30℃至160℃的温度范围内,热膨胀系数应该等于或大于3.0ppm/℃;
(d)在-30℃至160℃的温度范围内,热电系数应该等于或小于400μCm↑[-2]K↑[-1];
(e)在-30℃至80℃的温度范围内,根据共振-反共振方法计算的机械品质因数Qm应该等于或小于50。