压电偏转镜是以压电陶瓷作为驱动元件,内部采用无回差柔性铰链并联导向结构设计,外部机械结构通过内部多支压电陶瓷的伸缩来实现单轴或多轴角度偏转运动,补偿量小,确保偏转镜具有的运动精度和超高的稳定性,通过内置高精度传感器进行闭环控制,实现亚微弧度分辨率及微弧度定位精度。
P32θx θy Z三维压电偏转镜是以压电陶瓷作为驱动的倾斜镜,压电倾斜镜内部采用无回差柔性铰链并联结构,采用有限元分析柔性铰链结构,紧凑的差分并联结构柔性导向系统具有超高的导向精度,具有高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点,压电偏转镜内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈,确保偏转镜具有的运动控制精度、分辨率和稳定性,可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级。紧凑型设计,可更好的集成光学系统中。
驱动控制方式:
芯明天压电偏转镜可以根据用户对负载要求、使用频率,通信功能、开环/闭环、体积要求等选择不同功能的控制器,也可以根据用户特定的需求开发定制。
典型应用:
精密压电偏转镜主要应用于光通信、光路调整、光干涉、自适应光学等领域,芯明天P33系列压电偏转系统已经成功应用于卫星激光通信实验中,高精度的偏转、快速跟踪、稳定的控制使其受到国内外科研院所及企业的青睐。