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首页 > 新闻中心 > 新品推荐！芯明天闭环三维压电螺钉运动平台

新品推荐！芯明天闭环三维压电螺钉运动平台

更新时间： 2023-02-09

此次为大家带来一款闭环式、三维运动、压电螺钉驱动的压电运动平台。使用过压电螺钉运动平台的用户都会了解，一般情况下，这种运动平台都是开环的，没有闭环伺服控制传感器。但考虑到用户在大行程运动控制下对高精度的要求，芯明天专门设计、研发了XYZ65N81E26压电螺钉运动平台，该平台配备了增量式编码器，对运动行程、精度等可进行精确控制，且精度可达1.5μm。


图片
芯明天XYZ65N81E26压电螺钉运动平台

特  点


XYZ三维运动
配有闭环增量式编码器
行程±12.5mm/轴
纳米级分辨率
精度达1.5μm

运动原理


XYZ65N81E26压电螺钉运动平台是采用压电螺钉驱动，压电螺钉的运动是通过内部压电陶瓷的微运动，驱动螺纹杆旋转，从而沿着螺纹向前运动。螺纹杆的推动，使得载物移动平台台面的直线运动。

图片

技术参数


产品设计的参数如下表所示。


型号
XYZ65N81E26
运动自由度
X
集成传感器类型
增量式编码器
标称行程范围
±12.5mm
速度
50μm/s
闭/开环分辨率
80nm
线性度
1.5μm
重复度
1.5μm
承载能力
1.5kg
工作温度
0~50℃
质量（包含电缆）
2.61kg
材质
铝、钢
电缆长度
1.5m
推荐控制器
E53.D1E



产品实测数据


下方测试结果是在1.5kg负载、28.8℃温度、31%湿度下测得。


运动轴
X
Y
Z
线性度
1.253μm
1.327μm
1.157μm
重复度
1.439μm
0.275μm
1.134μm
分辨率
80nm
80nm
80nm
运行速度
55.30μm/s
64.62μm/s
54.50μm/s



从测试结果中可看出，X、Y、Z三个方向的定位精度均可达到1.5μm以内。运动效果如下视频所示。



注：视频60倍率播放。



可定制参数、可定制真空版本


芯明天可根据用户的参数要求定制压电螺钉运动平台，自由选择一至三维运动版本，自由选配增量式编码器。此外，可定制真空兼容版本，真空度可达10^-6mbar以上。
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应  用


XYZ65N81E26压电螺钉运动平台是三维直线运动版本，因其大行程及高精度的特点，非常适用于半导体测试、晶圆检测、纳米压印、纳米计量、工业精密定位等领域。

配套控制器


XYZ65N81E26压电螺钉运动平台采用芯明天自研生产的E53.D1E压电伺服控制器，可通过串口与上位机进行连接通信，通过上位机软件，对压电螺钉运动平台进行运动的控制，可设置运动速度等参数。
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其他压电螺钉运动平台


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