技术参数 型号 | N90.XYZTR1S | N90.XYZTR2S | N90.XYZTR5S | N90.XYZTR1K
N90.XYZTR2K
N90.XYZTR5K | 单位 | | 运动自由度 | X,Y,Z,θx,θy,θz | 同S | | X、Y轴标称行程范围
（0~120V） | ±6.5 | ±12.5 | ±25 | 同S | um±20% | Z轴标称行程范围
（0~120V） | ±3.2 | ±6.4 | ±12.8 | 同S | um±20% | θx,θy轴标称行程范围
（0~120V） | ±0.16 | ±0.32 | ±0.64 | 同S | mrad±20% | θz轴标称行程范围
（0~120V） | ±0.24 | ±0.48 | ±0.96 | 同S | mrad±20% | 刚度 | 50 | 58 | 66 | 同S | N/um±20% | 重量 | 1 | 1.15 | 1.3 | 同S | kg±20% | | 重复精度 | 0.05 | - | %F.S. | | 闭环线性度 | 0.25 | - | %F.S. | 结构形式 | 六自由度并联式 | | 驱动方式 | 压电陶瓷驱动 | | zui大承载 | 5 | kg | | 谐振频率 | 1 | kHz±5% | 标称行程驱动电压为：0~120V，zui大行程驱动电压可到-20~150V | |
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