XP-62X系列压电纳米定位台是采用VS12系列促动器直接驱动,具有大承载、快速响应、高可靠性和长寿命等特点,SGS传感器实现全闭环运动、高谐振频率和更大的拉力是该定位台的优势。该系列定位台可以组合成二维、三维的微动台产品。
XP-63X系列压电纳米定位台采用压电陶瓷直接驱动结构设计,具有快速响应、高可靠性和长寿命等特点,该系列微动台可以组合成二维、三维的微动台产品。
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