高压压电陶瓷是将单层压电陶瓷片与金属电极层交替叠堆粘接而成,标准驱动电压为0~500V、0~1000V, 高压叠堆陶瓷因其出 力大、静电容量低等特点,非常适用于大负载以及加载预载力后的动态应用。 特点: •zui大位移130μm • 500V、1000V驱动电压 • 出力大 • 多种型号可选 • 静电容量低 • 响应速度快 外观形状
高压叠堆压电陶瓷主要包括高压柱形与高压环形两种形状, 外径越大出力越大,zui大出力可达50000N, 长度越大位移越大, zui大位移可达130μm。 工艺结构 高压压电陶瓷是将单层压电陶瓷片与金 属片电极层进行堆叠粘接,因此高压压电陶瓷 为复合材料结构。相较于低压压电陶瓷,相同 体积,静电容量比较低,在预载力的条件下动 态性能更好。
工艺特点 单层陶瓷厚度:0.5mm 静电容量/cm³:100nF 热膨胀系数:+2ppm/℃ 压电驱动500V/1000V 高压叠堆压电陶瓷配套芯明天E00/E01系列高 压开环压电陶瓷控制器,推荐C系列单路或多路控制器。 应用: • 纳米定位 • 主动振动控制 • 半导体加工测试 • 光学调整 • 隔震平台 • 腔调谐 高压柱形叠堆压电陶瓷技术参数 型号 | zui大 / 标称位移* [µm]±15% | 长度L [mm] | 静电容量 [nF]±20% | 刚度 [N/µm]±10% | 谐振频率 [kHz] | 推力 [N] | PSt 1000/10/7 | 12/7 | 9 | 20 | 300 | 60 | 4000 | PSt 1000/10/20 | 24/18 | 18 | 45 | 150 | 40 | 4000 | PSt 1000/10/25 | 35/25 | 27 | 85 | 100 | 30 | 4000 | PSt 1000/10/40 | 55/40 | 36 | 110 | 75 | 25 | 4000 | PSt 1000/10/60 | 80/60 | 54 | 170 | 50 | 20 | 4000 | PSt 1000/10/80 | 105/80 | 72 | 220 | 35 | 15 | 4000 | PSt 1000/16/7 | 12/7 | 9 | 60 | 800 | 60 | 12000 | PSt 1000/16/20 | 27/20 | 18 | 150 | 400 | 40 | 12000 | PSt 1000/16/40 | 55/40 | 36 | 360 | 200 | 25 | 12000 | PSt 1000/16/60 | 80/60 | 54 | 540 | 120 | 20 | 12000 | PSt 1000/16/80 | 105/80 | 72 | 720 | 90 | 15 | 12000 | PSt 1000/25/7 | 12/7 | 9 | 140 | 1800 | 60 | 25000 | PSt 1000/25/20 | 27/20 | 18 | 350 | 900 | 40 | 25000 | PSt 1000/25/40 | 55/40 | 36 | 800 | 450 | 25 | 25000 | PSt 1000/25/60 | 80/60 | 54 | 1250 | 300 | 20 | 25000 | PSt 1000/25/80 | 105/80 | 72 | 1700 | 200 | 15 | 25000 | PSt 1000/35/7 | 12/7 | 9 | 300 | 4000 | 60 | 50000 | PSt 1000/35/20 | 27/20 | 18 | 800 | 2000 | 40 | 50000 | PSt 1000/35/40 | 55/40 | 36 | 1600 | 1000 | 25 | 50000 | PSt 1000/35/60 | 80/60 | 54 | 2500 | 600 | 20 | 50000 | PSt 1000/35/80 | 105/80 | 72 | 3300 | 450 | 15 | 50000 |
*PSt1000: 标称位移是在0~1000V驱动电压下的位移行程,zui大行程是在-200V~1000V,对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在 0~800V。 高压环形叠堆陶瓷技术参数 型号 | zui大/标称位移* [µm]±15% | 长度L [mm] | 静电容量 [nF]±20% | 刚度 [N/μm]±10% | 谐振频率 [kHz] | 出力 [N] | HPSt 500/10-5/7 | 12/7 | 9 | 65 | 200 | 40 | 2800 | HPSt 500/10-5/15 | 25/17 | 18 | 180 | 100 | 25 | 2800 | HPSt 500/10-5/25 | 35/25 | 27 | 260 | 70 | 20 | 2800 | HPSt 1000/10-5/7 | 12/7 | 9 | 15 | 210 | 50 | 2800 | HPSt 1000/10-5/20 | 25/17 | 18 | 40 | 110 | 35 | 2800 | HPSt 1000/10-5/25 | 35/25 | 27 | 65 | 75 | 25 | 2800 | HPSt 1000/10-5/40 | 55/40 | 36 | 90 | 55 | 20 | 2800 | HPSt 1000/10-5/60 | 80/60 | 54 | 140 | 35 | 15 | 2800 | HPSt 500/15-8/7 | 12/7 | 9 | 140 | 550 | 40 | 4000 | HPSt 500/15-8/20 | 27/20 | 18 | 360 | 280 | 25 | 4000 | HPSt 500/15-8/25 | 35/25 | 27 | 520 | 180 | 20 | 4000 | HPSt 500/15-8/40 | 55/40 | 36 | 720 | 130 | 15 | 4000 | HPSt 500/15-8/60 | 80/60 | 54 | 1100 | 90 | 12 | 4000 | HPSt 500/15-8/80 | 105/80 | 72 | 1500 | 60 | 10 | 4000 | HPSt 1000/15-8/7 | 12/7 | 9 | 35 | 600 | 50 | 4000 | HPSt 1000/15-8/20 | 27/20 | 18 | 90 | 300 | 35 | 4000 | HPSt 1000/15-8/25 | 35/25 | 27 | 130 | 200 | 25 | 4000 | HPSt 1000/15-8/40 | 55/40 | 36 | 180 | 150 | 20 | 4000 | HPSt 1000/15-8/60 | 80/60 | 54 | 270 | 100 | 15 | 4000 | HPSt 1000/15-8/80 | 105/80 | 72 | 360 | 70 | 12 | 4000 | HPSt 1000/25-15/7 | 12/7 | 9 | 85 | 1200 | 50 | 13000 | HPSt 1000/25-15/20 | 27/20 | 18 | 210 | 600 | 35 | 13000 | HPSt 1000/25-15/25 | 35/25 | 27 | 310 | 400 | 25 | 13000 | HPSt 1000/25-15/40 | 55/40 | 36 | 420 | 300 | 20 | 13000 | HPSt 1000/25-15/60 | 80/60 | 54 | 650 | 180 | 15 | 13000 | HPSt 1000/25-15/80 | 105/80 | 72 | 900 | 130 | 12 | 13000 | HPSt 1000/35-25/7 | 12/7 | 9 | 120 | 2000 | 50 | 20000 | HPSt 1000/35-25/20 | 27/20 | 18 | 300 | 1000 | 35 | 20000 | HPSt 1000/35-25/25 | 35/25 | 27 | 450 | 700 | 25 | 20000 | HPSt 1000/35-25/40 | 55/40 | 36 | 600 | 500 | 20 | 20000 | HPSt 1000/35-25/60 | 80/60 | 54 | 900 | 350 | 15 | 20000 | HPSt 1000/35-25/80 | 105/80 | 72 | 1300 | 250 | 12 | 20000 | HPSt 1000/35-25/100 | 130/100 | 90 | 1800 | 160 | 10 | 20000 |
*HPSt500:标称位移是在0~500V驱动电压下的位移行程,zui大行程是在-100V~500V,对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0~400V。 HPSt1000: 标称位移是在0~1000V驱动电压下的位移行程,zui大行程是在-200V~1000V,对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0~800V。 |