1.二维XZ向压电纳米定位台特性
• 1~3维自由组合 • 位移行程8μm • 亚毫秒响应时间 • zui大承载0.5kg • 重复定位精度可达纳米级
外观形状
产品运动示意图
直驱机构式驱动示意图
小体积、高精度、响应速度快
传感器类型
频率负载曲线
P63系列压电纳米定位台zui重要的特点是超级精密且体积非常小巧，P63.XZ二维的尺寸仅为30×30×33mm（X轴尺寸为30×30×21mm），易于集成到任何扫描仪器中。
P63系列纳米定位台是超高精密纳米定位系统，是为AFM、SPM、STM等显微扫描纳米操作等应用而设计的，具有超低惯性，响应时间可达0.3ms，可配置高精度闭环传感器进行高分辨率高速扫描。
2.二维XZ向压电纳米定位台应用
• 光纤端面检测 • 纳米压印 • 纳米计量 •微操控 • 纳米光刻 •干涉法/ 扫描显微/纳米定位 •生物技术/半导体技术 •质量保证测试 •微加工/精密控制
应用实例：纳米切削
P63三维纳米定位台已经应用于基于SEM在线纳米切削平台切削力测试实验中。
二维XZ向压电纳米定位台技术参数
型号
尾缀S-闭环
P63.XZ7S
P63.XZ7K
单位
尾缀K-开环
运动自由度
X、Z
同S
标称行程范围（0 ~+120 V）
5.5/轴
µm±20%
zui大行程范围（-20~+150 V）
8/轴
SGS
-
分辨率
0.2
0.1
nm
线性度
%F.S.
重复定位精度
俯仰/偏航/滚动
<10
µrad.
推/拉力
9/2
N
运动方向刚度
X1.2/Z1.5
N/µm±20%
空载谐振频率
X1.5/Z1.6
KHz±20%
空载阶跃时间
1.5
0.3
ms±20%
空载工作频率*
10%行程
500
>200
Hz±20%
行程
100
>50
zui大承载能力
g
静电容量
0.8/轴
μF±20%
工作温度范围**
-20~80
°C
材质
铝
外形尺寸（长×宽×高）
30×30×33
mm
重量
120
g±5%
出线长
m±10mm
传感/电压连接器***
LEMO
17051647888
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