P51系列压电偏转台为θx,θy轴偏摆Z轴升降台，偏转行程为±1.1mrad，Z轴直线行程可达110μm。 P51偏转台台体采用无回差柔性铰链导向结构，采用有限元分析进行优化，具有超高的刚度以及导向精度。 可选择内置精密传感器进行全闭环位置反馈，确保其具有的运动控制精度，直线运动分辨率可达到亚纳米级、偏转分辨率达亚微弧度、定位稳定时间为毫秒量级。 | 
| 通过有限元FEA优化的铰链用于导向机构偏转台。有限元分析技术用于设计运动方向上zui高的刚度，并减少角度偏差。铰链部分允许*精度的运动，因为铰链机构无间隙、无摩擦。 
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