N12系列压电扫描台为1~3维并联式平移扫描台,台体中心方形通孔,内部采用无摩擦的柔性铰链导向机构,采用有限元仿真分析优化结构,具有超高的导向精度、高刚性、大负载、无磨损等特点,平台内可选择配置高性能传感器进行全闭环反馈,实现满行程0.04%的重复定位精度。 N12.XY二维XY轴压电扫描台中心具有通孔,zui大扫描范围可达110μm,闭环扫描台精度更高,直线运动无偏航。产品广泛应用于表面测量、显微成像等应用领域。 特性 • 二维XY向运动,zui大行程110μm/轴 • zui大承载0.7kg • 台体中心方形通孔,尺寸为45×45mm • 闭环重复定位精度高 • 开/闭环可选 应用: 晶圆切割•生物显微•白光干涉• 原子力显微镜•差动聚焦检测系统•显微光学成像
哈尔滨芯明天科技有限公司致力于压电纳米定位产品的研发、生产与销售,主要服务于制造精密设备的的客户。经过二十多年的快速发展,公司已获得*认定,获得产品30多项并取得软件著作权、全部产品拥有自主知识产权、公司产品已覆盖全国各地高校、科研院所以及精密设备制造企业,并远销欧、美、日、韩等地。公司与中国高科技企业、国家重点实验室建立了合作伙伴关系,已经成为中国专业的精密定位产品生产商。
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