P12系列压电扫描台为压电陶瓷驱动、1~3维并联式平移扫描台,台体中心圆形通孔孔径可选25mm或35mm,满足显微等应用。压电扫描台可以实现单轴320μm的位移行程,一体式结构使得多维运动无耦合、多种规格型号可选,以满足不同应用的需求。
P12.XYZ三维XYZ轴压电扫描台,结构紧凑,外形尺寸60×60×24mm,zui大行程可达110μm。压电驱动、无摩擦、柔性铰链导向系统使得这一系列产品实现纳米级的分辨率,毫秒级的响应时间,台体中心中孔尺寸达Φ25mm,非常适合于显微及扫描中的样品定位。 特性 • 三维XYZ向运动,zui大行程110μm/轴 • zui大承载0.6kg • 通孔尺寸:Ø25mm(Ø35mm可选 ) • 闭环重复定位精度高 • 响应速度快 应用: 晶圆切割•生物显微•白光干涉• 原子力显微镜•差动聚焦检测系统•显微光学成像
哈尔滨芯明天科技有限公司致力于压电纳米定位产品的研发、生产与销售,主要服务于制造精密设备的的客户。经过二十多年的快速发展,公司已获得*认定,获得产品30多项并取得软件著作权、全部产品拥有自主知识产权、公司产品已覆盖全国各地高校、科研院所以及精密设备制造企业,并远销欧、美、日、韩等地。公司与中国高科技企业、国家重点实验室建立了合作伙伴关系,已经成为中国专业的精密定位产品生产商。
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