P78系列压电扫描台为一维Z轴运动平台,压电平台中心方形通孔尺寸为64×64mm,放大机构内置高性能压电陶瓷,可以实现Z轴210μm或300μm的位移行程,优异的柔性铰链导向机构具有超高的定位精度,适用于需要大行程精密定位的应用领域。
P78.Z300为一维Z轴压电扫描台,中心具有通孔,zui大扫描范围可达300μm,闭环扫描台精度更高,直线运动无偏航。 特性 • 一维Z向运动,行程300μm • zui大承载0.5kg • 通孔直径:64×64mm • 亚纳米级分辨率 • 开环、闭环可选 • 闭环重复定位精度高 应用: 晶圆切割•生物显微•白光干涉• 原子力显微镜•差动聚焦检测系统•显微光学成像
哈尔滨芯明天科技有限公司致力于压电纳米定位产品的研发、生产与销售,主要服务于制造精密设备的的客户。经过二十多年的快速发展,公司已获得*认定,获得产品30多项并取得软件著作权、全部产品拥有自主知识产权、公司产品已覆盖全国各地高校、科研院所以及精密设备制造企业,并远销欧、美、日、韩等地。公司与中国高科技企业、国家重点实验室建立了合作伙伴关系,已经成为中国专业的精密定位产品生产商。
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