XP-611.XZ压电纳米定位台为二维X轴及Z轴运动压电平移台,采用机构放大设计原理,内置高性能压电陶瓷,可实现X轴及Z轴100μm 的位移行程,柔性铰链导向机构无摩擦、无后坐力。可选择闭环版本定位精度高,是二维精密定位与扫描的理想选择。 XP-611.XZ二维XZ向运动纳米平移台,产品体积小巧,结构紧凑,可通过与XP-611.Y(即XP-611.X)组合成三维平移台,是1~3维平面精密定位理想的选择。例如干涉光路长度校准、显微或扫描应用中的样品定位等。XP-611.XZ为压电驱动、无摩擦、柔性导向系统,实现纳米级分辨率和毫秒的响应时间。 特性 • 二维XZ轴运动 • 位移行程100μm • 小体积 • 毫秒级响应速度 • 纳米级定位精度 应用: 晶圆切割•生物显微•白光干涉• 原子力显微镜•差动聚焦检测系统•显微光学成像
哈尔滨芯明天科技有限公司致力于压电纳米定位产品的研发、生产与销售,主要服务于制造精密设备的的客户。经过二十多年的快速发展,公司已获得*认定,获得产品30多项并取得软件著作权、全部产品拥有自主知识产权、公司产品已覆盖全国各地高校、科研院所以及精密设备制造企业,并远销欧、美、日、韩等地。公司与中国高科技企业、国家重点实验室建立了合作伙伴关系,已经成为中国专业的精密定位产品生产商。
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