压电马达内部仍为压电陶瓷驱动,它分为直线运动型及角度运动型,利用粘滑原理,通过压电陶瓷的快速振动,达到微纳米级的步进,总直线运动行程范围可达几百毫米,角度行程可达360度。 应变传感器主要用于测量一个结构表面的形变,具有非常高的测量敏感度,可间接进行力的测量,力的过程监控等。 特性: · 偏转角度:6°(±3°)θ X θ Y · 分辨率:2.9’’ · 镜片直径:12.7m · 中空直径:9mm · 外形尺寸:30.5×24m 应用: · 微米纳米技术 · 生物科技 · 显微 · 电信 · 计量、激光系统 |