P18.XYZ三维XYZ轴压电扫描台，内置高性能压电陶瓷作为驱动元件，采用SGS传感器闭环，实现精密高速定位运动，产品结构紧凑，易于集成，具有较高的重复定位精度和动态定位性能。 特性 • 三维XYZ向运动，zui大行程280μm/轴 • zui大承载1kg • 通孔尺寸：Ø35mm • 闭环重复定位精度高 • 响应速度快 外观形状 | 产品运动示意图 | 台体采用放大机构设计，运动行程范围大 | 
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大位移、大承载、高刚、高频响 | 频率负载曲线 | 应用实例-纳米光刻 | P18系列压电扫描台内置高可靠性压电陶瓷驱动，P18.XYZ200可以实现zui大280μm的扫描范围，运动直线性好，可选择闭环版本获得优异的线性度与重复定位精度。 P18.XYZ200采用*的结构设计，具有大刚度、大出力、大承载等特点，zui大承载达1kg，XYZ轴空载谐振频率分别可达300Hz、200Hz、120Hz，配套芯明天大功率控制器响应时间zui高可达5ms，是精密加工、半导体制造、扫描显微等应用。 | 
| 在纳米光刻实验中需要对镜片进行高速微纳米级的精密移动，从而优化镜片读取的信息。芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高稳定性等优点应用于纳米光刻实验。 
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平稳和精确的扫描圆形驱动 | 精准圆形驱动控制，可以通过精切定位XY平台的每一轴，采用正弦波90°相差输入，也可以通过PID修正位移进行调整，根据频率幅值以及负载使得驱动控制平稳精确。 | 
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应用 • 图像处理与稳定 • 精密定位 • 扫描显微 • 干涉/计量 • 半导体测量 • 表面检测 • 光学计量 • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜 • 掩模/晶圆定位 • 生物技术 • 表面结构分析 P18全系列产品 P18系列压电扫描台包括X/XY/XYZ三种结构形式，可以满足1~3维大行程扫描或定位的应用需求。 
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| P18.X一维 280μm运动范围 | P18.X一维 370μm运动范围 | P18.X一维 740μm运动范围 | P18.X一维 1.11mm运动范围 | P18.XY二维 280μm/轴运动范围 |
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| | | | P18.XY二维 370μm/轴运动范围 | P18.XYZ三维 280μm/轴运动范围 | |
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