N12系列压电扫描台为1~3维并联式平移扫描台，台体中心方形通孔，内部采用无摩擦的柔性铰链导向机构，采用有限元仿真分析优化结构，具有超高的导向精度、高刚性、大负载、无磨损等特点，平台内可选择配置高性能传感器进行全闭环反馈，实现满行程0.04%的重复定位精度。 N12.XYZ三维XYZ轴压电扫描台中心具有通孔，zui大扫描范围可达110μm，闭环扫描台精度更高，直线运动无偏航。产品广泛应用于表面测量、显微成像等应用领域。 特性 • 三维XYZ向运动，zui大行程110μm/轴 • zui大承载0.5kg • 开/闭环可选 • 台体中心方形通孔，尺寸为45×45mm • 闭环重复定位精度高 外观形状 | 产品运动示意图 | 台体采用放大机构设计，运动行程范围大 | 
| 
| 
|
小体积、大位移、中心通孔 | 频率负载曲线 | 闭环传感定位精度高 | N12系列纳米定位台体积非常小巧，位移可达110μm。*的平行运动学设计原理，使得N12.XYZ压电平台可以实现XYZ轴高速精密运动。这款产品的应用非常广泛，从光学研究到工业化 OEM系统等。 该系列压电扫描台的通光孔为45×45mm。高刚度以及优异的直线性使其成为光学、激光领域纳米级精密定位应用。 | 
| N12系列压电扫描台配置高分辨率传感器，对位置实时检测并反馈到压电控制器，控制器通过PID算法调整电压修正位移，从而实现高精度定位。 N12.XYZ压电扫描台配套芯明天E72系列模块化控制器应用于光学显微成像，实现XYZ轴精密扫描。 
|
平稳和精确的扫描圆形驱动 | 精准圆形驱动控制，可以通过精切定位XY平台的每一轴，采用正弦波90°相差输入，也可以通过PID修正位移进行调整，根据频率幅值以及负载使得驱动控制平稳精确。 | 
|
应用 • 图像处理与稳定 • 精密定位 •光学捕获 • 扫描显微 • 干涉/计量 • 半导体测试 • 表面检测 • 光学计量 • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜 • 掩模/晶圆定位 • 生物技术 • 表面结构分析 N12全系列产品：1~3维扫描台 N12系列压电扫描台包含X、Z、XY、XZ、XYZ五种规格型号。 
| 
| 
| 
| 
| N12.X一维 110μm运动范围 | N12.Z一维 110/210/320μm运动范围 | N12.XY二维 110μm/轴运动范围 | N12.XZ二维 110μm/轴运动范围 | N12.XYZ三维 110μm/轴运动范围 |
|
