小体积、高精度、响应速度快 XP-63X系列压电纳米定位台其*的结构设计，具有大机械刚度、大承载、更高的空载谐振频率等特点。负载情况下也具有很高的使用频率，响应时间可 以实现亚毫秒级。例如XP-630带动20g负载，响应时间仅为5ms。 XP-63X系列产品体积小巧，XP-630一维尺寸仅为60×45×18mm，易于与其他平台设备集成。 闭环版本配置应变传感器，可实时检测位置信号并反馈给闭环控制器，控制器通过PID算法对检测到的位置信号进行修正，从而实现纳米级的精密定位。 传感器类型 
频率负载曲线 
应用 • 半导体技术 • 纳米压印 • 纳米计量 •微操控 • 纳米光刻 •干涉法/ 扫描显微/纳米定位 •生物技术 •质量保证测试 •微加工/精密控制 应用实例：宏微复合机构 采用XP-633压电纳米定位台带动探针作精密位移定位检测控制，从而完成1mN的精确力控制实验。 |
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