XP-611系列压电纳米定位台为一维X轴或Z轴压电平移台,采用机构放大设计原理,内置高性能压电陶瓷,可实现X轴或Z轴100μm 的位移行程,柔性铰链导向机构无摩擦、无后坐力。可选择闭环版本定位精度高,是一维精密定位与扫描的理想选择。 典型应用 • 显微成像 • 纳米定位 • 生物技术 • 半导体技术 • 精密定位 • 微操作 技术参数 型号 | 尾缀S-闭环 尾缀K-开环 | XP-611.X100S XP-611.X100K | XP-611.Z100S XP-611.Z100K | 单位 | 运动自由度 | X | Z | | 标称行程范围(0~120V) | 80 | 80 | μm±20% | zui大行程范围(-20~150V) | 100 | 100 | μm±20% | 传感器类型 | SGS/- | SGS/- | | 闭/开环分辨率 | 7/4 | 7/4 | nm | 闭环线性度 | 0.2/- | 0.2/- | %F.S. | 闭环重复定位精度 | 0.05/- | 0.05/- | %F.S. | 俯仰/偏航/滚动 | <15 | <15 | µrad | 推/拉力 | 30/10 | 30/10 | N | 运动方向刚度 | 0.3 | 0.3 | N/μm±20% | 空载谐振频率 | 0.28 | 0.28 | kHz±20% | 闭/开环空载阶跃时间 | 10/0.8 | 10/0.8 | ms±20% | 闭环空载 工作频率 | 10%行程 | 100 | 100 | Hz±20% | 行程 | 10 | 10 | zui大承载 | 1.2 | 1.2 | kg | 静电容量 | 1.8 | 1.8 | μF±20% | 材质 | 钢、铝 | 钢、铝 | | 重量 | 80 | 80 | g±5% |
以上参数是采用E00系列压电控制器测得。 XP-611系列压电纳米定位台特点: • 一维X轴或Z轴 • 小体积 • 位移行程100μm • 毫秒级响应速度 • 纳米级定位精度 一维X轴或Z轴平移台 XP-611系列压电纳米定位台,一维X或Z轴精密直线运动。 高精度、高可靠性与*性满足工业应用需求芯明天XP-611系列定位台优异的设计结构,小巧的体积,100μm的行程,内置高可靠性压电陶瓷,装配高精度传感器,定位精度可以达到纳米级,产品*性良好,已经应用于工业精密自动化加工领 域。 体积小巧、稳定时间短、性价比高 XP-611系列压电纳米定位台采用机构放大设计原 理,体积小巧、结构紧凑,XP-611 .X的尺寸仅为 35×35×20mm,易于与其他设备集成安装。 该系列定位台采用机构放大原理,zui大位移可达 100μm,空载谐振频率高、响应速度快,100μm的 阶跃时间为0.8ms,该系列产品以其高可靠性,高性 价比等特点深得工业型用户的青睐。 |