N60系列压电纳米定位台为一维X轴压电平移台,内置高性能压电陶瓷可以实现X轴zui大34μm的位移,优异的机构放大设计原理,X 轴运动直线性好,开环闭环可选,产品体积小巧、结构紧凑、集成度高,是小体积高精度一维精密定位的理想选择。 N60系列压电纳米定位台典型应用 • 光纤定位 • 光学扫描 • 微操作 • 纳米定位 N60系列压电纳米定位台技术参数: 型号 | 尾缀S-闭环 尾缀K-开环 | N60.X30S N60.X30K | 单位 | 运动自由度 | X | | 标称行程范围(0~120V) | 24 | μm±20% | zui大行程范围(-20~150V) | 34 | μm±20% | 传感器类型 | SGS/- | | 闭/开环分辨率 | 1/0.5 | nm | 闭环线性度 | 0.5/- | %F.S. | 闭环重复定位精度 | 0.3/- | %F.S. | 俯仰/偏航/滚动 | <10 | µrad | 推/拉力 | 8/2 | N | 运动方向刚度 | 0.6 | N/μm±20% | 空载谐振频率 | 1.8 | kHz±20% | 闭/开环空载阶跃时间 | 10/2 | ms±20% | 闭环空载 工作频率 | 10%行程 | 100 | Hz±20% | 行程 | 10 | zui大承载 | 0.5 | kg | 静电容量 | 0.8 | μF±20% | 材质 | 铝 | | 重量 | 80 | g±5% |
以上参数是采用E00系列压电控制器测得。 N60系列压电纳米定位台特点: • 一维X轴 • 超小体积 • 位移行程34μm • 毫秒级响应时间 一维X轴平移台 N60为一维X轴运动平台,台面两个安装螺纹孔,便于安装负载。 高分辨率、高谐振频率、体积小巧 高分辨率 N60配套E53压电控制器,可实现0.5nm的步进分辨率。 N60采用机构放大设计原理,一维X轴运动行程34μm, 体积小巧、结构紧凑,尺寸为28╳28╳12.5mm。。 N60压电纳米定位台采用机构放大设计原理,优异的结构设计,无摩擦无后坐力,具有非常高的分辨率以及良好的 动态性能,空载谐振频率达1800Hz。产品稳定性好、无漂移、使用寿命长,体积小巧,方便与其他系统结构进行集成安装等优异的性能使其适合于光学 显微扫描、精密加工、微操作等应用。 |