XP-62系列压电纳米定位台是采用封装型压电促动器直接驱动，具有大承载、响应速度快、可靠性高和使用寿命长等优点。内置高 分辨率SGS传感器进行全闭环运动控制，高谐振频率和大拉力使得该系列纳米定位台适用于精密加工等领域。

XP-62系列压电纳米定位台典型应用

• 扫描显微    • 半导体技术
• 生物技术    • 微加工/精密控制

XP-62系列压电纳米定位台特点：

• 1~3维自由组合

• zui大行程68μm

• zui大承载10kg

• 重复定位精度可达0.05%F.S.

• 亚毫秒响应时间

大负载、高刚度、高谐振频率、高稳定性
XP-62X系列压电纳米定位台采用压电陶瓷直驱机 构，优异的柔性铰链设计，具有高刚度、高频响等特 点，刚度可达40N/μm，空载谐振频率高达4.2kHz， 适用于需要大负载、高频率需求的应用，如电化学加 工等。
XP-62X系列压电平台内置带有预紧力的封装型压 电陶瓷，平台采用有限元建模分析、柔性铰链导向机 构，无磨损、免维护，提供*的稳定性。
该产品易于与其他宏动台产品集成配套，实现更大 行程的精密定位。

 宏微复合机构

  XP-623.XY二维压电纳米定位台配套二维宏动台，应用于精密加工中。

XP-62系列压电纳米定位台技术参数：

以上参数是采用E00系列压电控制器测得。