P17压电扫描台是专门为需要大通光孔径、大位移行程的应用而研发设计的二维扫描台。台体采用机构放大设计原理，内置高可 靠性压电陶瓷，可以实现XY轴210μm的扫描范围，通光孔为60×60mm，在样品精密定位、扫描显微、干涉等领域得到了广泛的应用。

P17压电扫描台典型应用

• 图像处理与稳定    
• 扫描显微
• 干涉/计量    • 表面检测
• 晶圆定位    • 微操作

应用实例
    P17系列压电扫描台适用于需要大行 经成功应用于半导体测试、表面结构分析 天压电物镜定位器配套用于晶圆定位，可带动晶圆做XY轴210μm行程范围的纳米级精密定位。

P17压电扫描台特性

•zui大位移210μm

• zui大承载1kg

• 通孔尺寸：60×60mm

• 闭环重复定位精度高 • 响应速度快

XY二维扫描台

      P17二维压电扫描台中心大通孔，满行程位移210μm。

大通孔、大行程、稳定性好、响应速度快

   P17系列压电扫描台为压电陶瓷驱动快速、高精度 扫描台，可以实现XY轴210×210μm的位移行程，优异 的结构设计无摩擦、导向精度高、响应速度快、zui快的 响应时间可达5毫秒。

    闭环版本采用高精度的传感反馈，与E00/E01系列 闭环控制器配套使用，具有非常高的稳定性。台体中心 60×60mm大通孔，适合工业自动化中的晶圆定位或微 操作等应用。

P17压电扫描台技术参数：

以上参数是采用E00系列压电控制器测得。