N12压电扫描台为1~3维并联式平移扫描台，台体中心方形通孔，内部采用无摩擦的柔性铰链导向机构，采用有限元仿真分析优 化结构，具有超高的导向精度、高刚性、大负载、无磨损等特点，平台内可选择配置高性能传感器进行全闭环反馈，实现满行程0.04%的 重复定位精度。 N12压电扫描台典型应用 扫描显微 • 共焦显微 • 晶圆定位 • 表面测量 • 图像处理与稳定 • 半导体测试 N12压电扫描台特性 • zui大位移110μm • zui大承载0.7kg • 台体中心方形通孔 • 闭环重复定位精度高 • 开环闭环可选 1~3维扫描台 N12系列压电扫描台包含X、Z、XY、XZ、XYZ五种规格型号。 闭环传感定位精度高 N12系列压电扫描台配置高分辨率传感器，对位置实时检测 并反馈到压电控制器，控制器通过PID算法调整电压修正位移，从 而实现高精度定位。 N12.XYZ压电扫描台配套芯明天E72系列模块化控制器应用 于光学显微成像，实现XYZ轴精密扫描。 小体积、大位移、中心通孔 N12系列纳米定位台体积非常小巧，位移可达110μm。 *的平行运动学设计原理，使得平台可以实现XYZ轴高速 精密运动。这款产品的应用非常广泛，从光学研究到工业化 OEM系统等。 该系列压电扫描台的通光孔为45×45mm。高刚度以及 优异的直线性使其成为光学、激光领域纳米级精密定位应用。 N12压电扫描台技术参数： 型号 | 尾缀S-闭环 尾缀K-开环 | N12.X100S N12.X100K | N12.Z100S N12.Z100K | N12.XY100S N12.XY100K | N12.XZ100S N12.XZ100K | N12.XYZ100S N12.XYZ100K | 单位 | 运动自由度 | X | Z | X、Y | X、Z | X、Y、Z | | 标称行程范围（0~120V） | 80 | 80 | 80/轴 | 80/轴 | 80/轴 | μm±20% | zui大行程范围（-20~150V） | 110 | 110 | 110/轴 | 110/轴 | 110/轴 | μm±20% | 传感器类型 | SGS/- | SGS/- | SGS/- | SGS/- | SGS/- | | 通孔尺寸 | 45×45 | 45×45 | 45×45 | 45×45 | 45×45 | mm | 闭/开环分辨率 | 7/4 | 7/4 | 7/4 | 7/4 | 7/4 | nm | 闭环线性度 | 0.1/- | 0.1/- | 0.1/- | 0.1/- | 0.15/- | %F.S. | 闭环重复定位精度 | 0.04/- | 0.04/- | 0.05/- | 0.05/- | 0.1/- | %F.S. | 俯仰/偏航/滚动 | <10 | <10 | <15 | <15 | <20 | µrad | 推/拉力 | 30/10 | 30/10 | 25/8 | 25/8 | 20/4 | N | 运动方向刚度 | 0.3 | 0.3 | X0.25/Y0.3 | X0.3/Z0.25 | X0.3/Y0.25/Z0.2 | N/μm±20% | 空载谐振频率 | 230 | 200 | X170/Y200 | X200/Z150 | X200/Y150/Z120 | Hz±20% | 闭/开环空载阶跃时间 | 10/0.8 | 10/0.8 | 15/0.8 | 15/0.8 | 30/0.8 | ms±20% | 闭环空载 工作频率 | 10%行程 | 60 | 65 | 55 | 50 | 30 | Hz±20% | 行程 | 8 | 8 | 7 | 6 | 4 | zui大承载 | 0.7 | 0.7 | 0.7 | 0.7 | 0.5 | kg | 静电容量 | 1.8 | 1.8 | 1.8/轴 | 1.8/轴 | 1.8/轴 | μF±20% | 材质 | 钢、铝 | 钢、铝 | 钢、铝 | 钢、铝 | 钢、铝 | | 重量 | 240 | 240 | 290 | 290 | 350 | g±5% |
以上参数是采用E00系列压电控制器测得。 |
