P76系列压电物镜定位器为大负载压电物镜定位器,负载能力可达500g,Z轴直线运动范围可达110μm,采用柔性铰链设计机构,无 摩擦,直线性好,闭环型号定位精度高。分离式螺纹适配器设计,可适配多种型号的显微镜。 典型应用 • 三维成像 • 干涉/计量 • 自动聚焦系统 • 共焦显微 • 晶圆切割 • 半导体测试 螺纹适配器便于安装 P76物镜定位器与物镜之间通过适配器连接,将物镜快速锁定在 预期位置 。 多种螺纹 牙可选 ,如 M27× 0. 75、 M 26× 0. 75、 M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等,也可定制,便于与显 微镜集成安装。 大负载、高频响、高分辨率 P76纳米扫描聚焦系统的设计是为了大负载、大孔径 物镜在现代高分辨率显微应用中达到快的阶跃时间。它 极其坚固的设计提供了非常快的稳定时间及扫描频率,即 使带载几百克的物镜时。多个压电驱动器的旋转对称排列 及挠曲和杠杆元件的优化设计,使它具有较高的刚度,同 时保证了优异的导向精度和动态性。 P76压电物镜定位器的大通光孔径为22mm,大 负载为500g,它兼容多光子显微和共聚焦显微应用中常用 的大视场物镜。P76压电物镜定位器可匹配蔡司、尼康、 奥林巴斯、徕卡等多种标准镜头。它也可以通过适配器与 手动调节台相结合使用。 特性: • 位移行程110μm • 大负载500g • 毫秒级响应时间 • 闭环重复定位精度高 • 聚焦稳定性好 技术参数: 型号 | 尾缀S-闭环 尾缀K-开环 | P76.Z100S P76.Z100K | 单位 | 运动自由度 | Z | | 标称行程范围(0~120V) | 80 | μm±20% | 大行程范围(-20~150V) | 110 | μm±20% | 传感器类型 | SGS/- | | 闭/开环分辨率 | 5/2.5 | nm | 闭环线性度 | 0.05/- | %F.S. | 闭环重复定位精度 | 0.02/- | %F.S. | 推/拉力 | 70/10 | N | 运动方向刚度 | 0.8 | N/μm±20% | 空载谐振频率 | 800 | Hz±20% | 闭/开环空载阶跃时间 | 5/2 | ms±20% | 闭环空载工作频率 | 10%行程 | 400 | Hz±20% | 行程 | 50 | 大承载 | 0.5 | kg | 静电容量 | 7.2 | μF±20% | 材质 | 钢、铝 | | 重量 | 520 | g±5% |
以上参数是采用E00系列压电控制器测得。 |