P72系列压电物镜定位器是专门为物镜聚焦显微而设计的,采用无回差柔性铰链并联导向机构设计,物镜补偿量较小,具有超高聚焦 稳定性,物镜定位器装入显微检测/测量或者观测装置可以带动物镜头聚焦提高精度,可与多种高分辨率的显微镜配合使用。 典型应用 • 三维成像 • 干涉/计量 • 表面结构分析 • 共焦显微 • 生物科技 • 半导体测试 体积小巧、易于集成、高动态、直线性好 压电物镜定位器体积小巧、结构紧凑,可实现 大行程110μm的位移。多种螺纹牙连接器可选,易于与其 他光学显微镜等集成。台体采用柔性铰链机构,无摩擦且具有*的分辨率。由于其空载谐振频率可达350Hz,且可带载200g负载 作高速精密运动,在光学扫描、共焦显微等领域得到广泛 的应用。可选择闭环版本,实现超高的定位精度。 螺纹适配器便于安装 P72物镜定位器与物镜之间通过适配器连接,将物镜快速锁定在 预期位置 。 多种螺纹 牙 可 选 , 如M27× 0. 75、 M 26× 0. 75、 M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等,也可定制,便于与显 微镜集成安装。 P72压电物镜定位器特性; • 大行程110μm • 大承载0.2kg • 毫秒级响应时间 • 闭环重复定位精度高 • 开环/闭环可选 P72压电物镜定位器技术参数: 型号 | 尾缀S-闭环 尾缀K-开环 | P72.Z100S P72.Z100K | 单位 | 运动自由度 | Z | | 标称行程范围(0~120V) | 80 | μm±20% | 大行程范围(-20~150V) | 110 | μm±20% | 传感器类型 | SGS/- | | 闭/开环分辨率 | 5/2.5 | nm | 闭环线性度 | 0.1/- | %F.S. | 闭环重复定位精度 | 0.05/- | %F.S. | 推/拉力 | 110/15 | N | 运动方向刚度 | 1.4 | N/μm±20% | 空载谐振频率 | 350 | Hz±20% | 闭/开环空载阶跃时间 | 10/3 | ms±20% | 闭环空载工作频率 | 10%行程 | 50 | Hz±20% | 行程 | 15 | 大承载 | 0.2 | kg | 静电容量 | 3.6 | μF±20% | 材质 | 钢 | | 重量 | 150 | g±5% |
以上参数是采用E00系列压电控制器测得。 |