P77系列压电扫描台为一维Z轴运动平台，压电平台中心为106mm大通光孔，压电陶瓷直驱机构，内置高性能压电陶瓷，可以实现Z 轴20μm的位移行程，无摩擦柔性导向机构具有超高的分辨率，闭环版本定位精度可达纳米级，是光学移相器的选择。 P77压电扫描台特性： Z轴运动 • 大行程20μm • 大承载5kg • 通孔直径：Ø106mm P77压电扫描台典型应用• 显微成像 • 表面检测 • 闭环重复定位精度高 • 干涉/计量 • 精密定位 • 移相器 • 光学捕获 应用案例 大孔径、大承载、高谐振频率 P77系列压电扫描台采用优异的柔性铰链导向机构设计， 利用有限元分析优化， 刚度可达8 N/ μm，空载谐振频率 300Hz。 闭环版本内置高精度传感器，对位移实时监测反馈，可 实现纳米级的重复定位精度及线性度。 压电扫描台中心106mm的大通光孔，该产品已广泛应用于激光平面干涉仪等设备。 芯明天P77压电移相器以其大通孔、纳米级分辨率、高精度等特 点广泛应用于现代干涉仪中，大大提高了干涉仪的测量精度。 技术参数： 型号 | 尾缀S-闭环 尾缀K-开环 | P77.Z20S P77.Z20K | 单位 | 运动自由度 | Z | | 标称行程范围（0~120V） | 14 | μm±20% | 大行程范围（-20~150V） | 20 | μm±20% | 传感器类型 | SGS/- | | 通孔尺寸 | Ø106 | mm | 闭/开环分辨率 | 1/0.5 | nm | 闭环线性度 | 0.2/- | %F.S. | 闭环重复定位精度 | 0.1/- | %F.S. | 俯仰/偏航/滚动 | <10 | µrad | 推/拉力 | 120/50 | N | 运动方向刚度 | 8 | N/μm±20% | 空载谐振频率 | 300 | Hz±20% | 闭/开环空载阶跃时间 | 5/2.5 | ms±20% | 闭环空载 工作频率 | 10%行程 | 60 | Hz±20% | 行程 | 10 | 大承载 | 5 | kg | 静电容量 | 5.4 | μF±20% | 材质 | 铝 | | 重量 | 1600 | g±5% |
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