特性 θx, θy二维偏转 偏转范围6mrad 亚毫秒响应时间 闭环定位精度高 温度稳定性高 可负载大镜片 P34系列压电偏转镜可负载直径达80mm的镜片,实现12mrad的光束偏转。 高稳定性、线性度及动态性、使用寿命长 芯明天压电俯仰/偏转镜系统是基于平行运动学设计,两个方向偏转运动共用同一个移动面。内部四个压电促动器是成对的差分控制,决定了平台俯仰/偏转运动。这使得P34压电倾斜镜在较大温差变化范围的环境中具有非常优秀的角度定位稳定性。内部采用芯明天叠堆型压电促动器可保证可靠性。特殊树脂绝缘使其可抵抗环境湿度及漏电流故障。所以在可靠性及寿命上远优于传统压电促动器。 |