N20/P21压电偏摆/旋转台为一维θz旋转台，产品体积小巧，大旋转角度8.5mrad，承载能力达2kg，可带动镜片做精密旋转运动。 N20/P21压电偏摆/旋转台技术参数： 型号 | 尾缀S-闭环 尾缀K-开环 | P21.R7S P21.R7K | 单位 | 运动自由度 | θz | | 标称旋转角度 (0~+120V) | 6 | mrad±20% | 大旋转角度 (-20~+150V) | 8.5 | mrad±20% | 传感器类型 | SGS/- | | 闭/开环分辨率 | 0.4/0.2 | μrad | 闭环线性度 | 0.5/- | %F.S. | 闭环重复定位精度 | 0.2/- | %F.S. | 推/拉力 | 10/5 | N | 运动方向刚度 | 1 | N/μm±20% | 空载谐振频率 | 1.1 | kHz±20% | 闭/开环空载阶跃时间 | 30/1.5 | ms±20% | 闭环空载 工作频率 | 10%行程 | 50 | Hz±20% | 行程 | 15 | 大承载 | 2 | kg | 静电容量 | 1.8 | μF±20% | 材质 | 铝 | | 重量 | 105 | g±5% |
以上参数是采用E00系列压电控制器测得。 特性： • θz旋转 • 大旋转角度8.5mrad • 闭环定位精度高 • 响应速度快 • 体积小巧 典型应用 • 光路调整 • 干涉 • 光束扫描 • 计量 应用实例   P21系列压电旋转台可以与芯明天任意平台或倾斜台配合使用， 组成多轴精密压电定位台，用于多维精密直线与旋转定位操作。 小体积、高分辨率、高精度 P21θz一维旋转台采用机构放大设计原理，可以实 现大8.5mrad的旋转，体积小巧、结构紧凑，尺寸仅 为60×60×15mm，非常易于集成到精密旋转设备中。 采用压电陶瓷作为驱动元件，台体采用柔性铰链机 构，无摩擦、无回差，可以实现0.2μrad的分辨率。内 置SGS传感器配套闭环控制器可以实现微弧度的定位精 度，在光路精密角度调整中起着非常重要的作用。 驱动控制方式 P21为θz一维压电旋转台，单通道压电控制器即可驱动控制，闭 环版本P21配套E01系列闭环控制器，实现θz高精度旋转定位控制。 |
