XP-721压电物镜定位器为小体积常规型压电物镜定位器,采用分离式螺纹适配器设计,可与多种显微镜配套使用。 技术参数: 型号 | 尾缀S-闭环 尾缀K-开环 | XP-721.S XP-721.K | 单位 | 运动自由度 | Z | | 标称行程范围(0~120V) | 80 | μm±20% | 大行程范围(-20~150V) | 110 | μm±20% | 传感器类型 | SGS/- | | 闭/开环分辨率 | 10/3 | nm | 闭环线性度 | 0.2/- | %F.S. | 闭环重复定位精度 | 0.1/- | %F.S. | 推/拉力 | 30/10 | N | 运动方向刚度 | 0.3 | N/μm±20% | 空载谐振频率 | 500 | Hz±20% | 闭/开环空载阶跃时间 | 10/2 | ms±20% | 闭环空载工作频率 | 10%行程 | 60 | Hz±20% | 行程 | 20 | 大承载 | 0.2 | kg | 静电容量 | 3.6 | μF±20% | 材质 | 铝 | | 重量 | 250 | g±5% |
以上参数是采用E00系列压电控制器测得。 特点: • 位移行程110μm • 大承载200g • 毫秒级响应时间 • 闭环重复定位精度高 • 聚焦稳定性好 典型应用 • 三维成像 • 干涉/计量 • 表面结构分析 • 共焦显微 • 生物科技 • 半导体测试 螺纹适配器便于安装 XP-721压电物镜定位器与物镜之间通过适配器连接,将物镜快 速锁定在预期位置。多种螺纹牙可选,如M27×0.75、M26×0.75、 M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等,也可定制,便于与显 微镜集成安装。 快速安装、高稳定性、长使用寿命 XP-721系列压电物镜定位器为通用型显微成像聚焦定位 器,采用压电陶瓷驱动,可实现的扫描范围为110μm。 倒置光学显微镜 XP-721系列压电物镜定位器安装在倒置光学显微镜中。 |