XP-780 系列压电扫描台采用机构放大设计原理,柔性铰链连接支撑传动,内部采用高可靠性压电陶瓷驱动,实现X 轴可达 200μm 的位移,可配置闭环传感实现高精度扫描与定位。压电平台具有25mm×25mm 的通孔,适用于光学扫描。平台可以通过叠加转接的方式实现二维、三维运动。 大行程、高精度、大负载 XP-780 系列大行程压电扫描台采用机构放大设计原理,可以实现 200μm 的位移行程,无摩擦无空回的柔性导向机构使其具有超高的分辨率,选择配置闭环传感器可实现纳米级的定位精度,台体通孔使其适用于显微扫描等应用。 优异的结构设计使其具有非常高的刚度,承载能力大,可带载 5kg 的样品做精密定位。 |