压电物镜定位器 产品特点
Z 向运动
大行程范围
承载达 0.5kg
可选配闭环传感器
位移与电压曲线
线性度曲线
产品应用
聚焦显微
激光加工
Z 向定位与扫描
表面结构分析
型号
XD730.400S-B1
XD730.400K-B1
单位
运动方向
Z
标称行程范围(0~120V)
400
μm±10%
行程范围(0~150V)
500
传感器类型
SGS
-
分辨率
14
4
nm
闭环线性度
0.2
%F.S.
闭环重复定位精度
0.05
空载谐振频率
150
Hz±20%
静电容量
28.8
μF±10%
承载能力
0.5
kg
重量
520
g±5%
台体材料
铝、钢
注:以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得。最大驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0~120V。
压电物镜定位器
17051647888
哈尔滨芯明天科技有限公司(www.dt1927.com)主营:压电促动器,压电移相器,压电快反镜,快速刀具定位器
哈尔滨芯明天科技有限公司 版权所有 ICP备案号:黑ICP备16009173号-2 管理登陆 技术支持:仪表网 网站地图
0451-86268790