N31系列三维压电马达
三维闭环压电马达可在XYZ三个方向运动,配备有增量式编码器进行闭环控制。内部采用PZT压电式驱动,每轴运动行程可选25、50、100mm,可达纳米级分辨率。
产品特点
行程25、50、100mm/轴可选
纳米级分辨率
增量式编码器
承载达2.5kg
产品应用
超分辨成像样品移动
微纳装备及制造
扫描电镜(SEM)样品操纵
纳米聚焦与扫描
主动光学
集成电路制造与检测
显微及纳米CT
大范围电子束直写(EBL)
高真空样品精度对准及调姿
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