S51.ZT0SK-B1压电偏摆台
S51.ZT0SK-B1压电偏摆台是一款定制型压电偏摆台,可产生 θx、θy 两轴偏转及 Z 向直线运动,中心具有大型通孔,适于透射光等应用。
产品特点
θx、θy 偏摆,Z 向升降
闭环定位精度高
响应速度快
透光孔:200×200mm
可选真空版本
产品应用
扫描显微
激光合束对准
干涉 / 计量
空间扰动模拟系统
生物技术
掩模与晶片位置调整
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