XD770.300 系列大负载压电纳米定位台
XD770.300 系列大负载压电纳米定位台 压电纳米定位台在精密定位领域中发挥着至关重要的作用,可集成于各 类高精密装备,为其提供纳米级运动控制,且应用非常广泛。 XD770.300 系列压电纳米定位台为 Z 轴方向的运动平台,行程可达 300μm,负载可达5kg,实现行程范围和负载能力的双提升,为同时有大行程、 大负载应用需求提供了优质的解决方案。配合芯明天压电控制器,分辨率高、 响应速度快。 产品特点 Z 向运动 行程达 300μm 承载达 5kg 参数可定制 可定制真空版本 典型应用 显微扫描 光路调整 纳米操控技术 激光干涉 纳米光刻 生物科技 光通信 纳米测量 显微操作 纳米压印
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