XP-780一维X向压电扫描台 200μm 中孔25mm×25mm XP-780一维X向压电扫描台 200μm 中孔25mm×25mm
XP-780系列压电扫描台采用机构放大设计原理,柔性铰链连接支撑传动,内部采用高可靠性压电陶瓷驱动,实现X轴200μm的位移,可以配置闭环传感实现高精度扫描与定位。压电平台具有25mm×25mm的通孔,适用于光学扫描。平台可以通过叠加转接的方式实现二维、三维运动。 产品特点 一维X向运动 行程可达200μm 承载可达5kg 通孔尺寸:25×25mm 闭环重复定位精度高 开/闭环可选 真空版本可选 |