P63.X18Z8S P63.X18Z8K 压电纳米定位台 产品特点 X轴行程 18μm/ 轴 开 / 闭环可选 Z 向行程 8μm 开 / 闭环可选 真空版本可选 技术参数： 型号 | S-闭环 K-开环 | P63.X18Z8S | P63.X18Z8K | 单位 | 运动自由度 | X、Z | X、Z |
| 驱动控制 | 2路驱动，2路传感 | 2路驱动 |
| 标称行程范围（0 ~+120 V） | X:16, Z:6 | X:16, Z:6 | μm±10% | Max.行程范围（0~+150 V） | X:18, Z:8 | X:18, Z:8 | μm±10% | 传感器类型 | SGS | - |
| 闭/开环分辨率 | X0.6 Z0.2 | X0.2 Z0.1 | nm | 闭环线性度 | X:0.3, Z:1 | - | %F.S. | 闭环重复定位精度 | 0.25 | - | %F.S. | 俯仰/偏航/滚动 | ≤15 | ≤15 | μrad | 空载谐振频率 | X2/Z1 | X2/Z1 | KHz±20% | 闭/开环空载阶跃时间 | 8 | 0.5 | ms±20% | 承载能力 | 0.5 | 0.5 | kg | 静电容量 | X:1.8, Z0.8 | X:1.8, Z0.8 | μF±20% | 工作温度范围 | -20~80 | -20~80 | °C | 材质 | 铝 | 铝 |
| 出线长 | 1.5 | 1.5 | m±10mm |
P63.X18Z8S P63.X18Z8K 压电纳米定位台 尺寸图 
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